FEI(Thermo Scientific)
Titan Themis Z
10년
주장비
시험
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면거칠기/미세구조측정장비
2017-12-29
2,682,462,265원
기관의뢰
고정형
시간별
10원
기존 TEM 대비 Resolution의 저하가 없음.
Tomography 및 In-situ에 장점을 가지고 있음.
시험분석용으로 활용하고 있으며, 기관의뢰를 통해 누구나 활용가능.
Electron Gun : FEG
Accelerating Voltage : 60-300 kV
Point resolution : 0.08nm(TEM), 0.07nm(STEM)
Speciment tilt angle : +-30도
STEM detector : 있음(HAADF, ADF, ABF)
Cs corrector : 있음(Double corrector)
In-situ Heating : 있음(~1000도)
Tomography : 있음(3D image&mapping)
EDS detector : 4 detector