213nm 심자외선 레이저 시스템
1) 레이저 출력 파장 : 213nm
2) 레이저 펄스 폭: 20ns nominal
3) 레이저 반복 주기 : 20KHz 높은 반복주기로 안정된 광 여기 발광스펙트럼을 측정할수 있습니다.
4) 레이져 평균 출력 : 70mW
5) 레이저 횡모드 사양 : TM00 가우시안
6) M2 value: <1.5
7) 편광 방향
8) 편광 비율: >100:1
9) 레이저 빔 직경 크기 : 1mm
10) 안정성 : <2%
11) 레이저 발산각: <3mRad
12) 레이저 빔 타원도 : <2:1
13) 장시간 레이저 펄스 에너지 노이즈 (4 시간 동안):<+/-5%
14) 213nm laser 레이저의 경우 532, 355, 266nm 등 다른 파장의 고차 조화파가 발생이 되는 문제가 있으나, 특수 프리즘을 이용한 광학계를 사용하여, 고차 조화파 문제가 작습니다.
15) Size : Laser Head 308x 128x 109mm, 300x223x107mm for laser power supply