성우테크론 주식회사
MLM2000
9년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 달리 분류되지 않는 성형/가공장비
2017-12-05
90,914,850원
기관의뢰
고정형
시간별
50,000원
광학 측정 검사 장치
영상 취득 및 분석, DATA 산출
반사 조명 2SET
-. FOV1.5mm * 2mm,
-. 픽셀크기0.5um/px,
스테이지
위치 이송 및 회전, 진공탈부착
LINEAR MOTOR & DD MOTOR 구조
-. 해상도 0.2um
-. Θ 해상도0.01º, 20도 ROTATE
이송/접합 장치
제품 이송 및 CELL 접합
SERVO PRESS
-. 100gf 제어
-. Max. 500Kgf 하중
STAGE 구조
- WORK STAGE
진공 TABLE : 2”, 6” 대응
평탄도 : 10um
- X MOVING STAGE
LINEAR MOTOR
-. 해상도 : 0.2um
-. STROKE : 800mm
-. LOAD : 20Kgf
-. SPEED : 100um/s ~ 150mm/s
경고 및 알림 장치
- 적색/청색/녹색 통합형 알람조명 1개 이상
- 비상 및 오작동 상황 경고용 스피커 1개 이상
- 비상정지 스위치 설치
데이터 저장용 컴퓨터
데이타 저장 및 출력
- CPU: i3이상 사양
- Memory: DDR2 4GB이상
- HDD: S-ATA2 160GB이상
- LAN Card: 10/100Mbps이상
- OS: Windows XP or Window 7 이상
공압 및 제어
기구 구동 및 제어
MOTION CONTROLER
-. 압력5Kg/cm2, 토출량 500LPM
SIZE : 1760H * 990W* 1070L
무게 : 3,000kgf
기판 스테이지 장치 1 SET
- 기판 고정스테이지
· 진공에 의해 기판이 고정되어야함
· 작업가능 전사기판 크기 : 2 × 2 cm2 사이즈부터 10 × 10 cm2 사이즈 까지 대응, 가열온도 100 ℃
· 고정대 두께: 30 mm 이하
· 평탄도: ± 3 ㎛ 이하 (수정, 칩 두께 10 ㎛ 이하)
· 이송 최대거리: Y축 ±25 mm
· 이송거리조절 최소단위: 0.2 ㎛ 이하
· 이송 최소/최대속도: 1 ㎛/s 이하, 150 ㎜/s 이상
· 축방향 허용 최소하중: Y축 40 Kg 이상
이송/접합 장치 1 SET
- X 축 이송장치 1 SET
· 이송 최대거리: X 축 300 mm 이상
· 이송거리조절 최소단위: 0.2 ㎛ 이하
· 이송 최소/최대속도: 1 ㎛/s 이하, 150 ㎜/s 이상
· 축방향 허용 최소하중: X축 20 Kg 이상
· 회전범위 : ± 5.5 도
- Z축 이송장치 1 SET
· 전사용 헤드의 하중조절 선택기능과 연동해야 함
· 원점복귀 기능과 이송한계거리 제한 기능을 포함하고 있어야 함
· 접합 위치 정밀도 : ± 3 ㎛ 이하
· 이송최대거리: 50 mm 이상
· 이송거리 조절 최소크기 : 0.1 ㎛ 이하
· 최소/최대 이송속도: 1 ㎛/s 이하, 30 ㎜/s 이상
· 접합 하중 제어
→ 하중: 250 Kg (5×5 cm2) 이상
→ 하중 정확도 : 설정 하중의 ± 0.5 % 이내
→ 하중 균일도 : 설정 하중의 ± 0.5 % 이내
→ 하중 제어 최소 해상도 : 100g 이하
- 접합장치 헤드
· 접합장치 헤드에 전사기판이 탈부착 가능하며 부착 후 고정되어야함
· 이송 시 진공에 의해 전사기판이 고정되어야함
· 부착 가능 전사기판 크기 : 3 × 3 cm2 이상 10 × 10 cm2 이하 사이즈 대응
· 평탄도: ± 3 ㎛ 이하
· 평탄도 오차 극복 완충 구조적용
광학 측정/검사장치 1 SET
- 전사기판 스테이지와 타겟기판 스테이지의 정렬마크 위치 인식이 가능해야함
- 인식된 정렬 마크 위치를 기준으로 이송 후 거리 오차 발생 시 자동 보정이 가능해야함
- CCD 카메라 해상도 : 1024 × 768 이상
- 확대 배율: 5배 이상
경고 및 알림 장치 1 SET
- 적색/청색/녹색 통합형 알람조명 1개 이상
- 비상 및 오작동 상황 경고용 스피커 1개 이상
- 비상정지 스위치 설치
동작제어 및 데이터 저장용 컴퓨터 1 SET
- CPU: i3 이상 사양
- Memory: DDR2 4GB 이상
- HDD: S-ATA2 160GB 이상
- LAN Card: 10/100Mbps 이상
- OS: Windows XP or Window 7 이상