Bega
LTV-400S
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스프레이장비
2017-07-04
84,200,000원
직접사용
고정형
건별
150,000원
디스플레이 소형화, 고해상도화, 퍼블릭 모듈 기반한 마이크로 디스플레이 화소 구현
- 마이크로 디스플레이 픽셀 구현 제조 공정 전용 장비
- 마이크로 디스플레이용 픽셀 구현을 위한, 마이크로 R/G/B 화소 구현을 위하여, Array Color sheet를 구현하고, Attach 구현이 필수적으로, 기존 solid 경도가 아닌 연성 sheet attach 구현을 위한 color conversion layer를 구현하기 위한 패턴 방식의 스프레이 타입의 공정 설비임
→ Full color 마이크로 디스플레이 구현을 위해 Color sheet 제조
→ Quantum dots rail, pattern quantum dot emission 및 phosphorus color sheet
1) 주 장비
○ 양자점 형광소재 도포 시스템 : 1set
- 표면 친수 처리용 플라즈마 모듈
- 공랭방식 표면 친수 처리용 플라즈마 처리용 길이 : 150 mm 이상
- 플라즈마 가스 : 아르곤, 산소, 질소 혼합 가스
- 마스크 정렬 시스템 : 1set
- Vision 인식용 카메라 시스템 : WD 65mm, 5μm/픽셀, 640 x 480(단색)
- 정렬 시스템용 정밀 스테이지 : X/R/Z 3축 , 분해능 최소 1μm
- 진공방식 마스크 고정 이젝터
- LED방식의 동축 조명 : 백색, 0.5W, 2채널 제어
- 양자점 형광소재 도포 시스템 : 1set
- 형광체 도포용 헤드 : 적색, 녹색, 투명용 3 헤드 시스템
- 양자점 픽셀 도포용 메탈 마스크
- 필름 흡착용 진공, 솔벤트 증발용 가열 기능
- 도포 시스템 제어용 로봇 시스템 : X/Y 2축, 분해능 최소 1 μm