Nordson MARCH
AP-300
9년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2017-02-20
42,900,000원
원
*저진공 챔버 내부에 아르곤, 산소, 헬륨 등의 가스를 표면재질에 따라 단독 또는 혼합하여 투입하면서 전기적 에너지를 가하면 가속된 전자의 충돌에 의하여 투입된 가스가 플라즈마 상태로 활성화된다. 이러한 플라즈마 상태에서 발생하는 가스의 이온 또는 라디칼 등이 재료 표면에 충돌하여 미세 유막 제거, 미세 조도 형성 등 표면의 물리 화학적인 변화를 유도함으로써 각종 접착 밀착력을 증대시킬 수 있게 된다.
*주요 구성
1) Reaction Chamber
- supports up to 7 removable and adjustable powered or grounded shelves
2) Radio Frequency Power Generator
-automatic matching network delivers
3) Rotary Vane Pump
- pump with an oil mist eliminator
*주요 성능
1) Touch screen control
2) Graphical user interface
3) Flexible shelf architecture
4) 13.56 MHz RF generator with automatic matching network
5) Convenient facility hook-ups for periodic calibration requirements
6) Standard with tow electronic mass flow controllers for optimal gas control with another tow available optionally (four total max)