Kosaka Laboratory Ltd.
DSF-900
9년
주장비
시험
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면거칠기/미세구조측정장비
2016-12-05
210,000,000원
기관의뢰
고정형
건별
150,000원
본 장비는 LED Light Engine 및 LED Module의 표면 거칠기를 측정하여 Zhaga 규격에서 요구하는 Mechanical Interface 조건을 만족하는지 검증하기 위한 목적으로 활용될 장비임
시스템에는 거칠기 측정 장치 본체, 소프트웨어, 방진테이블, 컴퓨터 시스템으로 구성되
어 있음.
[성능]
1. 측정기 본체
1) 검출기
1.1) 측정 방식: 반도체 레이저 방식(Semiconductor Laser) 및 표준
스타일러스를 통한 측정
1.2) 측정 정도:
- X축: (1+0.02L)㎛ 혹은 보다 정밀
- Y축: (0.2+0.05h)㎛ 혹은 보다 정밀
2. 전동 컬럼 및 정반
1) 이동 거리: 400 mm 또는 그 이상
2) 이동 속도: 5 mm/s 또는 그 이상
3) 위치 정지 정도: 0.2 ㎛ 또는 그 이상
4) 정반 재질: 화강암 또는 그 이상
5) 측정 가능 공간: 1000 mm by 750 mm 또는 그 이상
3. 이송장치
1) 이송 거리: 200 mm 또느 그 이상
2) 직진도 정도: 0.4 ㎛ 또는 그 이상
3) 이송 속도:
- 측정 시, 2 mm/s 또는 그 이상
- 위치 이동 시, 10 mm/s 또는 그 이상
- 분해능: 0.1 ㎛ / 100 mm 또는 그 이상