㈜윤슬
없음
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공 시험장비 >
2016-08-29
78,026,000원
기관의뢰
이동형
기타
100,000원
나노/마이크로 분말이 부유하고 있는 공기를 아음속의 속도로 토출하여 기판에 해당물질을 박막형태로 적층하는 장비이다. 압축공기는 약 3 ~ 4 bar로 공급되며, 챔버는 0.1 기압 상태로 유지된다. 기판은 1.05 m × 1.05 m 면적에, 두께는 약 3 ~ 5 mm 까지 허용된다. 노즐은 토출구가 슬릿 형태로써, 슬릿의 폭은 0.1 ~ 1 mm, 슬릿의 길이는 10 ~ 100 mm이다. 노즐은 X-Y-Z 3축의 스테이지로 이송되며, 기판의 면적 전체 적층 가능하다. 이송 성능은 정밀도 50 ㎛, 최고속도 200 mm/s 이다. 추후 상온 플라즈마, 레이져, 전열판 등의 복합공정 추가를 위한 관련 예비 포트를 내장하고 있다. 다양한 각도에서 적층공정을 육안으로 관찰할 수 있는 4개의 뷰포트 또한 보유하고 있다.
" Ⅰ. 일반사양
- 본체(Main body) 1set
● 원통형 Vacuum chamber 1식
■ 진공챔버 힌지 도어: 2개
■ Viewing window 4개
■ Additional port 4개
● X-Y-Z 3축 스테이지 1식
■ 3축 스테이지 모터 드라이버 1식
■ Glass Work table 1식
■ Control Box 1식
● Rotary vacuum pump 1식 (자체 조달)
● Aerosol generator 1식 (자체 조달)
● Air compressor 1식 (자체 조달)
● 모션 컨트롤러 1식 (자체 조달)
Ⅱ. 성능
- 챔버크기: φ1,900 mm × 2,500 mm
- 진공챔버 진공도: 9.0 × 10-3 torr
- 기판 적층 공간: 1,050 mm × 1,050 mm
- 스테이지 정밀도: 50 ㎛
- 스테이지 최고 속도: 200 mm/s
- 스테이지 이송범위: X축 1,050 mm, Y축 1,050 mm, Z축 50 mm "