(주)정민실업
없음
11년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기
2016-12-25
785,990,000원
기관의뢰
고정형
일별
1원
Pyrotic Carbon Coating 장치는 흑연기재의 표면근처 및 표면에 글라스(유리)상 탄소를 함침 피복시키는 처리 및 그 함침을 행하는
장비이다. 그 사용 용도는 아래와 같다.
가)반도체 관련
원료의 CZ장치용 부재로부터 최종 제품의 봉착(Packaging) 치구에 이르기까지 폭 넓게 쓰이고 있는 흑연의 성능을 더욱 높여,
수명을 길게 하고 작업성을 향상시키는 이점이 있음
나)연속주조용
순동계 금속의 연속주조용(특히 판 다이스)에 적용함으로써 수명을 길게 하고 주괴의 품질 향상을 기함.
다)기타
MO-CVD용 서셉터(Susceptor), 액정기판 등의 가열용 Plate, 세라믹스 등의 용접 (땜질) 치구, HOT PRESS용 치구 등 각종
용도에 쓰이고 있음.
1. Heater 내측 Size : about Φ740 x 1540H
2. 사용압력 : 진공, 20 Torr, 대기압
3. 도달 진공도 : 5 x 10-2 Torr (단, 깨끗한 空爐이고 Sample에 의한 영향이 없을 때)
4. 최대 도달 온도 : 1800℃ (Vacuum, Gas 분위기)
5. 온도 구배 : ±10℃ 이내 (온도 1800℃ 조건)
6. Heater 전기용량 및 방식 : 95 kVA급 3set 총 285 kVA, 1차측 380V 삼상 / 2차측 30V 삼상
7. 하부 뚜껑 Up / Down 방식 : 3 Screw 구동 방식
8. Gas Flow는 MFC로 Control하며 4개의 MFC가 필요하다.
9. 온도와 압력은 PID Controller를 이용하여 자유자재로 Profile을 조절할 수 있도록 한다.
10. 압력의 조정 범위는 진공, 20 Torr 사이이며, Gate 방식의 Valve와 압력 조절용 Controller를 사용하여 압력이 정확히
조절되도록 한다.
11. chamber는 STS316L 과 STS304로 제작한다.