Jeol.co
IB-19510CP
11년
부대장비(부가장치) (주장비:전계방출형주사전자현미경(에너지분산형분광분석기 포함))
생산
기계가공·시험장비 > 절삭장비 > 밀링장비
2016-12-28
144,150,810원
기관의뢰
고정형
건별
100,000원
딱딱하지 않은 재료와 딱딱한 재료의 복합 재료의 단면 관찰을 위해 전통적인 기계연마법을 사용하지 않고, 성형 되어진 Argon 의 ion beam을 cutting하는 날로서 사용하여 시편 단면을 가공하는 시료 제작기 이다. 특징은 넓은 가공영역과 저 운용비 와 용이한 조작, 배수, 폐액이 없는 환경 친화적 장비이다.
이온빔단면가공장치의 기본 구성은 시료 확인용 광학 현미경, Timer, 진공계, ion beam Controller로 이루어져 있다.
1)가속전압(Acce. Voltage) : 2 ~ 6kV or better
2)Ion Beam Diameter : 500um(FWHM) or better
3)Milling rate : 300um/h or better(at Ace. volt.: 8 kV, specimen: Si)
4)Specimen stage movement : X:+/-10mm, Y : +/-3mm or larger
5)Pressure measurement : Penning gauge.
6)Pumping System : Turbo-molecular pump