Carl Zeiss
GEMIN 외
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2016-08-29
600,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
80,000원
- 열적데미지에 취약한 시료, 무전도처리 후 극표면 미세형태분석, 자성시료, 표면 및 투과상 동시분석,
원소별분포이미지(BSE), 요철시료의 원소분포분석, 경원소 분포분석에 활용
- Electron sourec : Schottky field emitter
- 분해능 : 0.6 nm@ 15 kV, 1.1 nm@ 1 kV(non-deceleration)
- 가속전압 : 0.02 kV ~ 30 kV(step 10 V)
- Probe current : 3 pA ~ 20 nA(stability 0.2 %/h)
- 배율 : 20 ~ 2,000,000 배(accuracy ± 1%)
- In-lesed SED, LV-SED, BSE, E-T, IR-CCD, STEM
- LN2 free 80 mm2 SDD EDS x 2 set