아텍시스템
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기계가공·시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공 시험장비 >
2015-11-23
41,390,800원
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EMH 코팅 소스는 진공 내에서 유도가열코일에 고주파 유도전류를 인가하여 증착하고자 하는 물질을 가열 증발 시키고, 증발된 기체를 혼합 및 고온으로 가열된 노즐을 통해 강판에 분사하여 물리적으로 박막을 합성하는 코팅 장치이다.
EMH 코팅소스는 1) 50x100mm 냉연강판을 진공 중에서 장입 및 전처리를 실시하는 시편 장입 장치, 2) 리볼버 형태의 6개의 증착 물질을 배기 과정 없이 진공 챔버 내부에 장입하는 코팅 물질 장입 장치, 3) 진공 챔버 내에서 고주파 가열에 의해 증발된 코팅 물질을 냉연강판에 균일하게 분사하는 증기 혼합 및 분사장치, 4)증기 혼합 및 분사장치 하부에 설치되어 고체 증착 물질을 유도가열을 통해 용융하는 증발 물질 용융 장치, 5) 증기상태의 금속의 응고를 억제하기 위해 최대 1,000℃까지 가열되는 금속 증기 분사 노즐의 열기를 유지 및 외부 유출을 차폐하는 열 차폐 장치, 6) EMH 코팅 소스뿐만 아니라 진공 챔버의 장치(저진공 펌프, 고진공 펌프, 부스터 펌프) 및 타공급사에서 제작한 고주파 전원, 유도가열코일, 전처리 장치 등)의 통합 제어를 위한 장비 제어 장치로 구성되어 있다.