㈜칸켄테크노
KT1000EP
7년
부대장비(부가장치) (주장비:탄화규소 화학기상증착기)
시험
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 유체정화기
2011-12-22
201,300,000원
고정형
기타
0원
기구축된 탄화규소/카본 화학기상증착 장비에서 배출되는 수소(H2)가스를 완전하게 연소 처리하여 안전기준 이하의 농도로 배출하고, 공정에 사용된 MTS(Methyltrichlorosilane, CH3SiCl3) 소스로부터 발생하는 미반응 MTS가스 및 염화수소(HCl)가스를 포함한 그 외의 배기가스들을 수처리를 통해 안전기준 이하로 배출함으로써 탄화규소/카본 화학기상증착 공정을 안정적으로 진행하고 장비의 원활한 활용과 안전한 작업환경을 구축함.
1. 탄화규소/카본 화학기상증착 공정 전후에 배출되는 여러가지 가스를 전열히터와 세 개의 Wet Scrubber로 처리하는 스크러버
2. 처리과정에서 산도가 높아지는 물을 수산화나트륨(NaOH)를 이용하여 중화시키는 자동중화장치
3. 중화된 물에 함유된 염화나트륨(NaCl)과 기타 부산물을 거르는 여과장치
4. 가스처리과정에서 발생하는 열에너지에 의해 온도가 상승한 물을 재사용하기 위해 냉각시키는 냉각장치.