TESCAN
VEGA 3 LMU
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2017-01-12
219,968,950원
기관의뢰
고정형
건별
50,000원
주사전자현미경은 전자선이 시료면 위를 주사(scanning)할 때 시료에서 발생되는 여러 가지 신호 중 그 발생확률이 가장 많은 이차전자(secondary electron) 또는 반사전자(back scattered electron)를 검출하는 것으로 대상 시료를 관찰한다.
SEM으로 약기. 시료 표면을 전자선으로 주사하여 입체구조를 직접 관찰하는 기능을 가진 전자현미경. 투과형 전자현미경으로 두꺼운 시료의 입체구조를 관찰하려고 할 경우에는 시료를 비스듬히 놓고 입체사진을 찍거나 간접적으로 표면구조를 보는 레플리카법에 따라야 하는데, 주사형 전자현미경은 전자렌즈 상에 작게 조여진 전자선으로 시료 표면을 주사하고, 시료 표면에서 발생하는 이차전자, 반사전자 등을 증폭시켜 그 양자강도를 휘도로 변환시켜 브라운관에 결상시킨다.
시료 내의 원소에서 발생하는 특성 X선을 분석하는 X선 마이크로애널나이저와 병용하여, 시료 내에 있는 특정 원소의 검출이나 분포를 해석하는 수단으로도 널리 사용하고 있다. 보통은 분해능이 10~20nm이지만, 개량된 것은 대단히 고도의 분해능을 나타내어 미세구조의 해명에 크게 기여하고 있다.