서울엔지니어링(주)
자동전사장비
9년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2016-10-13
91,300,000원
기관의뢰
고정형
건별
10,000원
본 장비는 광학계 및 정밀 mechanical station을 이용한 Transfer Printing 설비로 광 디스플레이 혹은 IC 회로의 생산 연구 개발을 위한 장비로 다음의 특징을 가진다.
1. 시료 관찰이 가능한 광학 현미경을 이용하여 정밀 Align을 실시한다.
2. X,Y,Z1,Z2 정밀 Mechanical Stage가 장착되어 있다.
3. Auto stage를 사용하여 분석자가 원하는 위치로 이동 및 설정이 가능하다.
4. Transfer chuck은 상온 및 heating 가능한 holder를 장착하고 200도 까지 온도를 유지 및 조절 할 수 있다.
5. 모든 제어는 컴퓨터 제어가 가능하고, 단일 프로그램에서 구동 및 설정이 가능하다.
1. 자동 전사 시스템
1) wafer 이송/고정 장치 1set
가) wafer 고정 장치 : 이송 전,후 고정 된다.
나) wafer 이송 장치 : 최대거리 X축 400mm, Y축 200mm 이상, 거리 조절 최소단위 0.1um 이하
2) MicroLED 전사장치 1Set
가) 전사용 헤드 : 하중 조절 된다.(고압력/미세압력)
나) Holder : 기판 탈부착 되고 , 부착 후 고정이 된다.
다) Z축 이송장치 : 전사용 헤드의 하중 조절 기능과 연동 된다.
3) 광학 측정/검사장치 1Set
4) 접합용 경화장치 1Set
5) 경고 및 알림 장치 1Set
6) 동작제어 및 데이터 저장용 컴퓨터 1Set