Msi
GD90RF
10년
주장비
분석
화합물 전처리·분석장비 > 질량분석장비 > 달리 분류되지 않는 질량분석장비
2016-10-31
790,725,820원
기관의뢰
고정형
기타
164,735원
1. 고체상태의 시료에 존재하는 미량의 무기원소들을 특별한 전처리 없이 직접 주입/분석하여 정량 분석이 가능하므로, 희토류 원소들과 같이 고융점을 갖고 있고 산이나 알칼리에 의해서 녹이기 힘든 시료의 분석 활용
2. 1회에 70여개의 원소를 %에서 ppt에 이르는 광범위한 영역의 정량 분석가능
3. 일반적인 금속 도체 시료 이외에 산화물 부도체/반도체 시료 분석을 위한 RF 모듈 장착
1. Ar flow : 1 ml/min
2. Discharge voltage : 1 ~ 3000V
3. Discharge current : 0.1 ~ 10mA
4. RF Source : 13.56 MHz RF frequency, 200 W max
5. Switched between RF and DC
6. Mass range : >300 amu at 8kV
7. Scan speed : 0.1 ~ 1000 sec/decade.
8. Resolution : 20000 max