코썸사이언스
μ-LAB Advanced
10년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 레이저가공기
2016-08-31
76,247,680원
직접사용
고정형
기타
1원
본 장치는 156mmx156mm실리콘 태양전지의 에미터의 고농도 선택 도핑을 위한 레이저 도핑하기 위하여 스캐너 장치와 광학빔 전달 조절장치로 구성품으로 레이저 가공영역을 scanner를 이용하여 주어진 FOV 단위로 이동 관측이 가능한 시스템. 관찰위치의 grey value값을 통하여 자동 위치인식하는 기능이 있고, 적용 샘플에 대해 균일한 조명 셋팅이 되어야 함. 비젼과 scanner를 함께 조절할 수 있는 프로그램기능이 탑재되어 있어, 원하는 형태의 위치인식과 레이저작업이 가능하도록 AOC 355nm 레이저와 링크되어야 함. UV레이저를 이용한 ~20um의 레이저 어블레이션 라인과 홀 모양을 170mmx170mm크기의 스캐닝을 작업함. 와 광조절 렌즈 구성, 스캐닝 기능으로 구성됨. 레이저를 이용하여 5cm 높이의 웨이퍼를 세워 레이저 포커싱 노칭이 가능해야 함. PERC셀 구조를 위한 절연막 에칭이 가능해야하고, 박막 태양전지의 스크라이빙 스캐닝이 가능하도록 ±10um정확도를 가짐.
1. UV 레이저 워크스테이션
● 광학시스템 및 스테이지 마운팅 내부프레임
● 스테이지 크기: 200 mm(X) x 200 mm(Y), tens-of mm adjustable(Z),
● 조절가능한 Lab Jack
● 스캐너 모듈과 illumination 유닛을 포함한 비젼시스템
● 시스템 컨트롤과 정렬을 위한 소프트웨어
● 인터락 work area enclosure with laser safe viewing window. 2. 스캐너 시스템
● Galvo-scanning head and f-theta lens for high speed uniform spot beam ● 작업 반경 (Working distance) : 250 mm
● 스캔 면적 : 170 x 170mm2
● 정확도 (Accuracy) : ±10um at 170 X 170 mm2
● All optics hard AR coated for use at 355nm.
● Appropriate illumination setup(wavelength, the to-be-imaged target feature..)
● Various optional functions (customized optimization functions :mark offset, skywriting, beam delay control, correction editor) 3. Coaxial vision system with self-aligning functionality
● capturing images of the scan head's working field and calibrating the system (11x11 cross points for working area of 170 x 170mm2)
● Defining and storing jobs for observation and self-alignment : Edge finding with sequence tool.
● Recognition: using defined grey level threshold - Defined pattern teaching function - Crosshair for calibration of the center position - Script-tool for the operator's small program
● Simultaneous quality inspection during processing
● 주요 특징 : Reference mark, Automated Object Measurement, Object Differentiation
● Illumination equipment: illumination kit consisting of controller, 4 LED illumination, adjustable brackets etc.
● 인터페이스 보드와 소프트웨어 4. 컨트롤 소프트웨어
● User-friendly graphical user interface is individually configurable.
● 소프트웨어 for integrating UV 레이저
● Full process recipe control (marking objects, graphic and process parameters)
● Alignment control (self-aligned laser processing)
● 공정 모드: Galvo-scanner head type
● 공정: scribing, cutting, patterning, grooving, drilling etc.. 5. 시스템 컨트롤러
● Industrial PC, LCD 모니터
● 윈도우 베이스 유저 인터페이스
● Position synchronised laser firing
● Integrated operation of the Galvano Unit : 레이저와 스캐너