포틱스
1
8년
부대장비(부가장치) (주장비:ARC 및 도핑시스템)
기타
기계가공·시험장비 > 자동화/이송장비 > 자동투입장치
2014-03-25
141,305,300원
고정형
기타
0원
본 장비는 태양전지 셀 제작 공정에서, PSG removing 공정 카세트에서 웨이퍼의 불순물 혼입이 되지 않는 상태로 PECVD 카세트로 wafer를 이송해 주고, PECVD 카세트에서 전극 프린팅을 위한 메탈 카세트로 wafer를 이송해 주는 장비임.
1. PECVD 캐리어 로딩부(수동 적재)
2. ACI 카세트 로딩부(수동 적재)
3. TRC 카세트 로딩부(수동 적재)
4. 웨이퍼를 들어올리고 이동해주는 로봇 유닛
5. 웨이퍼 공급 컨베이어 구동부
6. 캐리어 카세트를 들어올려주는 구동부