포틱스
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8년
부대장비(부가장치) (주장비:표면구조화 및 PSG제거 시스템)
기타
기계가공·시험장비 > 자동화/이송장비 > 자동투입장치
2014-01-22
88,157,090원
고정형
기타
0원
본 장비는 태양전지 셀 제작 공정에서 Texturing 공정, Doping 공정, Metal 전극공정의 각기 다른 Cassette 또는 Quartz boat의 샘플을 이송시켜주는 장비임
구성
1. Single transfer system
1) ACI 카세트 적재부
2) ACI 카세트 Pick-up 시스템
3) 컨베이어 타입의 웨이퍼 공급 로딩부
4) TRC 카세트 적재부
5) TRC 카세트 Pick-up 시스템
6) 스택 메거진 로딩부
7) 웨이퍼를 들어 올리고 위치시키는 구동부
2. Multi transfer system
1) Quartz Boat 로딩부
2) 카세트 적재부
3) 웨이퍼와 카세트 Pick-up 시스템
4) 웨이퍼를 들어 올려주는 주요 로봇 유닛
성능
1. Single transfer system
A. 용도 : 본 시스템은 Stack Magazine(M/Z)의 웨이퍼를 ACI cassette(M/Z) 및 TRC cassette(M/Z)로 웨이퍼를 이송하는 시스템과 ACI cassette(M/Z)에서 TRC cassette(M/Z)로 웨이퍼를 한 장씩 양방향으로 이송이 가능한 시스템임.
B. 기본사양
1) 적용 웨이퍼 크기 : 156x156 mm±0.5 mm(두께 : 180 μm±20 μm)
2) 공정 및 웨이퍼 통로 라인 : 950mm(±50mm)
3) 웨이퍼 이송 (공정)방향 : 양방향 타입
4) ACI 카세트 <--> TRC 카세트로의 이송 능력 : ?1,500 Sheet/hr
5) Stack M/Z <--> ACI & TRC 카세트로의 이송 능력 : ?1,500 Sheet/hr
6) 제어방식 : PLC제어방식 (OMRON PLC)
2. Multi transfer system A. 용도 : 본 시스템은 Quartz Boat의 여러장의 Wafer를 한번에 Pick-Up 하여 Cassette 으로 Loading & Unloading 해주는 시스템으로, 양방향 이송이 가능한 시스템이어야 함. * 다이아몬드 타입 보트 이송 가능
B. 기본사양
1) 적용 웨이퍼 크기 : 156x156 mm±0.5 mm(두께 : 180 μm±20 μm)
2) 공정 및 웨이퍼 통로 라인 : 950mm(±50mm)
3) 웨이퍼 이송 (공정)방향 : 양방향 타입
4) 이송 처리 용량 : 120 sec/1cycle(1 cycle : 웨이퍼 25PCS 기준)
5) 제어방식 : PLC제어방식 (OMRON PLC)