정남시스템
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8년
부대장비(부가장치) (주장비:ARC 및 도핑시스템)
기타
기계가공·시험장비 > 자동화/이송장비 > 자동투입장치
2014-03-07
199,724,060원
고정형
기타
0원
태양전지 공정시 각공정로에서 pocl3, BBr3, Oxidation 등 공정시 로딩패들과 버퍼사이를 각공정신호에 맞추어 롱보트를 이송하여주는 장비로서 주메인 공정시스템과의 연결되어 동작되는 특징을 갖으며, 단결정 웨이퍼, 다결정 웨이퍼, P type, N type의 substrates 의 이송 용도에 사용되는 장비임.
1. 적재용량은 실리콘 웨이퍼 150장을 적재할 수 있는 이송장치
- 150 wafers : 하나의 슬롯에 150장의 6인치용 웨이퍼를 적재할 수 잇는 캐리어를 이송
2. 사용전원 - 사용전압 : AC 220 - 사용전류 : 5A 이상