울텍
1
11년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 프린팅장비
2013-12-17
642,900,860원
고정형
시간별
300,000원
이 시스템은 웨이퍼 로딩 프린팅 드라이어 소성로 그리고 Unloader가 인라인으로 구성되어 있으며 웨이퍼가 적재된 매거진을 웨이퍼 로더에 로딩하면 자동으로 정렬 프린팅 건조 소성 및 매거진에 자동으로 적재되어 공정이 마무리되는 인라인 시스템이다.
1. Loader
1) Double shuttle magazine loader
2) Magazine당 50매 웨이퍼 적재 가능
2. 스크린 프린터
1) 최대 인쇄 면적 : 156mm * 156mm + 0.5mm 2) 인쇄 속도 : 0 ~ 300 mm/sec
3) 인쇄 압력 : 0 ~ 0.5 MPa
4) Snap off : 0 ~ 5 mm 5) 스크린 정렬 ; 전자동 시스템으로 X Y 세타 수정 가능
6) 웨이퍼 정렬방법 : CCD 카메라를 이용한 자동 정렬
7) 웨이퍼 정렬 반복 정밀도 : 반복시 ±12.5㎛
3. 드라이어
1) 최대 온도 : 350°C 이상
2) Heating 구간 : 독립적으로 온도제어가 가능
3) Conveyor와 PC Backup용 배터리 : 15분 지원
4) Heating 구간별 온도 편차 :±1℃이내
5) PC software로 제어되고 온도 프로파일 software가 내장되어 프로파일 데이터를 저장/분석
4. Magazine buffer
1) 프린팅 및 건조 공정 후 다음 프린팅 공정을 위해서 자동으로 웨이퍼를 magazine에 적재
2) 프린팅 및 건조 공정후 소성 공정을 진행할 때는 웨이퍼를 소성로로 이송
3) Magazine당 50매 웨이퍼 적재 가능
5. 소성로
1) 최종 프린팅 공정 후 소성까지 할 수 있도록 in-line type으로 구성된 장비로써 건조 구간과 소성 구간으로 구성
2) 건조구간 : 최고 350°C 소성 구간 : 최고 1000 °C 3) 건조 구간 : Heating이 3구간이고 구간별 독립적으로 온도제어가 가능해야 함
4) 소성 구간 : Heating이 6구간이고 구간별 독립적으로 온도제어가 가능해야 함
5) Conveyor belt : Stand off type
6) Belt speed 제어 : 분당 66cm에서 분당 762cm까지 조절 가능
7) Belt speed 정밀도 : 설정값에 ±0.5%이내
8) 온도 반복 정밀도 : 소성구간 최고 온도에서 ±2℃이내
9) Frame cover에 센서들이 설치되어서 Frame cover를 개폐하면 전원이 차단됨
6. Unloader
1) 최종 프린팅 후 소성 공정까지 마친 웨이퍼를 자동으로 magazine에 적재
2) Magazine당 50매 웨이퍼 적재 가능