Semilab
GES5E
10년
주장비
분석
전기·전자장비 > 분석장비 > 달리 분류되지 않는 분석장비
2014-04-04
94,450,420원
고정형
시간별
40,000원
Ellipsometer는 반도체 FPD LED Solar Cell등의 부품소재에 사용되는 박막의 굴절률을 측정하기 위한 장비로서 광학적인 방법으로 측정할 수 있는 수 Å ~ 수 ㎛ 두께 범위의 단층 및 다층 박막의 두께 굴절률을 측정하는 장비임.
장비 구성
◎ 분광 엘립소미터
1. UV 광원
2. 스텝 모터 구동형 편광 모듈
3. Retarder 모듈
4. 제어 및 전장 모듈
5. 스텝 모터 구동형 아날라이져 모듈
6. 소프트웨어
7. PC 시스템
8. 스펙트로 그래프 분광 셋
9. 수동 입사각 조정(45˚~90˚ 5˚Step)
10. Si solar cell 스테이지
성능
1. 파장 영역 : 300nm ~ 900nm
2. 빔 스팟 크기 : ≥ 1.5mm
3. 측정 상수 : 막질 두께 파장 영역 내 굴절률 소광계수
4. 측정 가능 두께 : sub Å ~ 10㎛(박막의 종류에 따라 다를 수 있음)