나노스코프
NS-3500
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 이미지분석장비 > 달리 분류되지 않는 이미지분석장비
2014-05-02
112,639,810원
고정형
시간별
43,000원
광학 3차원 형상 측정을 위한 고속 공초점 레이저 스캐닝 현미경
공초점 원리와 공진 스캐너와 갈바노 스캐너에 의한 고속 레이저 point-by-point 스캔 기술과 3차원 시그널 분석 알고리즘을 통한 실시간 공초점 현미경 영상 취득
장비 구성
공초점 모듈
컨트롤러
현미경 프레임
운용 및 분석 소프트웨어
성능
레이저 파장 : 405 nm 자색 레이저
관측 영역 : 140μm ~ 105μm (100 대물렌즈 기준)
횡방향 분해능 : < 200 nm (선-공간(line and space) 분해능 기준) / Z 축 측정 영역 : 10 mm 까지
Z 축 스캐닝 분해능 : 0.01 μm (폐회로 제어 방식)
3차원 프로파일 측정 반복도 (3σ) : 50 nm (저진동 환경에서 VLSI 표준시편 100회 측정시)
영상 속도 : 1024 768 (20Hz) 1024 384 (40Hz)
광학 줌 : 1 ~ 6
실시간 컬러 CCD로 표시되는 2D 영상