다솔이엔지
RS8-1G
10년
주장비
시험
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 전압/전류/전력측정시험장비
2014-05-09
41,049,500원
고정형
건별
36,000원
4단자법을 이용한 4 Point Prove를 사용하여 태양전지 및 반도체 표면처리 공정 전후 웨이퍼의 면저항 및 면저항 균일도를 측정 분석 확인할 수 있는 접촉방식의 측정장비이다.
면저항 측정 파트 4개의 pin으로 측정되는 4단자법
1) 측정정밀도 : ±0.5%
2) 저항측정범위 : 1 mΩsq. ~ 1 GΩsq 2. 자동 이동 스테이지 프로그램에 설정된 위치로 순차적으로 자동 이동 시킬 수 있고 수동으로 위치를 옮길 수도 있음. 1) 측정 범위를 오토 및 매뉴얼 모드로 선정 가능
2) 측정 Probe가 X Y Z축으로 움직임
3) 측정간격 : 1mm 이하
4) 측정 샘플 크기 : 200mm × 200mm