에피코스
1
12년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 원자층증착장비
2014-01-29
690,240,200원
고정형
시간별
153,500원
본 장비는 결정질 실리콘 태양전지 제조에서 이온 주입 도핑 및 원자층 단위의 박막증착 공정을 위한 장비로서 태양전지의 에미터 층과 반사방지막을 증착시켜주는 클러스터 방식으로 구성되는 장비임.
1. 장비의 도달압력 : 5.0 x 10-7 Torr 이하
2. 장비의 누설률 : 1.0 x 10-9 Torr l/sec 이하
3. 기판 규격 : 6"x6"(in)/유리 또는 금속 박판 Arm을 이용한 기판 이동
4. 증착 두께의 품질 범위 : ± 5% 이내 (분광계 포인트 측정: 9 포인트 유효범위 152 x 152(mm) 두께 : 500 nm)