울텍
1
9년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2014-01-17
547,214,960원
고정형
시간별
350,000원
결정질 실리콘 태양전지 제조를 위한 Wet station 장비에 관한 것으로서 웨이퍼 제조 공정 시 발생되는 saw damage 식각공정 기판 표면 반사율 저하를 위한 텍스쳐링(texturing)공정 확산 공정 후 발생되는 산화막 제거를 위한 PSG removing 공정이 가능하다
1. Wet station Main Body
2. Central Robot Handling
3. Bath (1cassette => 50 wafer)
4. 공정 제어 (Process Control)
5. 용약 자동 공급 장치 (Chemical supply system)