(주)파크시스템스
NX10
3년
주장비
분석
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 달리 분류되지 않는 표면특성측정장비
2013-11-14
170,020,000원
기관의뢰
고정형
건별
80,000원
초미세 탐침(cantilever)을 시료 표면에 가까이 가져갔을 때 발생하는 원자 간 상호 작용력을 측정하는 기기로 원자지름의 수 십 분의 일(0.01nm)까지 측정이 가능하고 미세한 시료 표면형상을 3차원적으로 측정할 수 있음
- Scan range of XY : 50 μm - Scan range of Z : 15 μm - Z Resonant Frequency: < 9 KHz - Noise floor of Z : 0.03 nm - Working range of XY : 20 mm×20 mm - Sample size : 50 mm×50 mm, h20 mm - Sample weight : 500 g - Vision lens : 10× - Optical resolution : 1μm