인포비온
IE-600
12년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 열증착기
2014-01-04
70,000,000원
고정형
기타
0원
Evaporator system (IE-600) 본 장치는 균일하고 조밀한 특성을 가진 박막을 증착하는 장비이다. Filament에 전류 공급하여 열 전자를 방출하고 그 열 전자를 magnet field로 target에 유도하여 target을 국부적으로 가열, 증발시킨다.
장비구성은 크게 power supply, vacuum chamber, vacuum pump로 나뉠 수 있다. 세부사양은 다음과 같다.
- Process Chamber Working Pressure: low * 10-5 torr 이하
- Process Chamber Ultimate Pressure: middle * 10-7 torr
- Substrate Holder : Rotation, Origin, Clamping, Heater
(Heating ≥ 800℃, Sic Coated Graphite Heater)
- Sample Size: 6 inch Wafer
- Electronics Rack : PC Manual, Semi_Auto Control
- PM : 1- E-beam Source (27cc, 6 Pocket)
- Hinged Front Door for Maintenance
- Turbo Pumping
- Safety Interlock Function
- VENT: N2