에스앤엠
SnM-ICVMS100
5년
주장비
분석
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 전압/전류/전력측정시험장비
2016-07-27
182,373,400원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
원
-진공(10⁻⁶torr) 에서, 저온(80K) 및 고온(480K) 상태에서 소자의 전기적 특성을 측정하고 분석할 수 있는 시스템
-다양한 GAS 환경(N2, Ar, O2, NH3, CO2, He) 상태에서 측정 및 분석
1) 전체 크기 : 1,000mm(폭) × 1,000mm(길이) × 1,300mm(높이) 이하
2) 챔버 크기 : 270mm(폭) × 270mm(길이) × 300mm(높이) 이하
3) 진공 챔버 누설 전류 정밀도 : 1fA 이하 보증
4) 챔버 진공도 : 10⁻⁶torr 정밀 진공 게이지
5) 온도 작동 범위 : 80K ~ 480K (보증)
- 온도 chuck(sample stage) : 80mm, 고온 및 저온, 평탄도 ±1% 이하_세라믹 인슐레이터, 2 쉴드잭
- 온도 상승 측정 : 1 step, 2 device 설정 프로그램 (온도 스윕 10단계, 10분내 측정시간 도달)
- 온도센서_RTD 센서 및 컨트롤러
6) 챔버 진공 포트 : 최대 9 포트
- GAS 1포트, 벤트 1포트, 펌핑 1포트, 압력 1포트, TC파워 1포트, 스페어 4포트
- 포지셔너 4포트 (NW80 Wellded 주름관_140mm)
7) MFC 포트 : 원 샷 퍼징시스템 (N₂, O₂port), GAS Line 1/8인치
8) 챔버 윈도우 뷰 : 110mm (Quarts 6t, 다크 윈도우 커버 포함)
- 윈도우 오픈 도어 락, 세이프티 키
9) 하판 플레이트 : 900mm(폭) × 900mm(길이) steel 엠보싱 코팅
10) 현미경 지지대, Z 축 컨트롤, 봉 타입, 스윙 지그
11) 옵티컬 파이버 일루미네이션 및 컨트롤, 밴딩 스테이지 확장 가능