CTC
CIS-500
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
2012-01-12
1,000,000,000원
고정형
시간별
176,000원
- 터치패널용 전극 및 신인성 확보를 위한 SiO2 및 Nb2O5 증착을 위한 In-line sputter 증착 장비
- 터치패널용 배선전극용 박막코팅을 위한 E-beam 증착 장비
In-line sputter
• Power supply : DC10kw 2ea
• Ion beam power : 3000V
• Heating temp : 400℃
• Target : SiO2, ITO, Nb2O5
E-beam
• Coating size : 500*500mm
• Base Pressure : 2E-7Torr
• Deposition : 6ea(18CC)