필옵틱스
AC90-1136
5년
주장비
시험
광학·전자 영상장비 > 달리 분류되지 않는 광학·전자 영상장비 >
2011-11-07
200,000,000원
고정형
시간별
65,000원
디스플레이 및 터치패널용 시제품 제작시 패턴공정을 위한 노광 시스템
하위 스핀시스템 및 산염기습식공정, DFR라미네이터 등 포토공정을 진행할수 있는 장비를 구성하여 활용 하고 있음.
1. 평행광노광기(주장비)
• Photo Mask Size : 500mm*500mm
• 진공 흡착 : 500kg/f
• 자동 얼라인먼트
• Mask Gab 조절 : 5um
2. 스핀코팅(보조장비)
• 모터 : AC 서보모토
• 회전속도 : ~3000RPM
• 코팅 사이즈 : 500mm*500mm Sheet
• 코팅재질 : 필름 및 Glass
• Spin Chuck : 150*150, 300*300, 500*500 (3set)
3. 산염기습식공정(보조장비)
• Size : 500*500 Sheet
• 수조 : 용액 80 litter
• 테스트 수조(200mm*200mm Sheet 대응) : 산세정 1set, 염기세정 2set(현상, 박리)
알카리세정조
• 알카리에칭조 : N2 레벨
• 세정조 : 공압식
• 알카리에칭조 : PID 온도제어
산세정조
• 산 에칭조 : N2 레벨
• 세정조 : 공압식
• 알카리에칭조 : PID 온도제어
4. DFR 라미네이터
• DFR Roller Size : 500mm
• Core inch : 3inch
• Temp : 180℃