리드엔지니어링
VPO-1000-300
9년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 열처리장치
2016-12-23
148,720,000원
고정형
건별
50,000원
웨이퍼(또는 시타 시료)의 온도를 올려주기 위해서 직접 시편에 빛을 쪼여서 ( 방사전 열전달방식(Radiation heat transfer method)을 이용해서 시편온도를 올려주는 장비
- 히팅 시스템 : 적외선 램프 방사열전달 방식, 최대 1,000도 이상의 열처리 가능
- 사용가능 시료 사이즈 : 지름 200mm(8inch wafer)이상
- 분위기 가스 : Ar, Ge, N2