Thermo fisher scientific
FEG1000
10년
부대장비(부가장치) (주장비:X선 광전자 분석기)
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2017-02-03
148,599,350원
기관의뢰
고정형
시간별
150,000원
- 표면에서 방출되는 전자를 직접 검출하므로 표면 민감도가 매우 뛰어나 고체표면의 원소뿐 아니라, 전자구조에 관한 정보까지 얻을 수 있어 금속, 합금, 반도체 등의 표면 및 계면 연구에 활용
- 입사빔으로 전자빔을 사용하기 때문에 최소 분석 영역이 nm단위로 미세한 영역의 분석이 가능하므로 도금 박막 표면 및 계면 분석에 뛰어남
- XPS에 비해 초점이 작아 평면 해상도 및 깊이 방향의 분해능이 뛰어남
- 이미지 분석이 가능하므로 표면미세구조 관찰 및 점, 선, 면(표면분포도) 분석 가능함
분석 원소 : H, He를 제외한 모든 원소 분석
시편손상 : 없음
원소분석 : 가능 (정량분석시에는 표준시편 필요)
절대감도 : 대부분의 원소 100ppm이하
화학결합정보 :대부분 재료에서 가능
검출깊이 :20~60Å
농도분포 : 이온빔 스퍼터링과 병행하여 사용할 시 가능
평면해상도 : 1㎛
깊이해상도 : 5~20Å
Imaging/Mapping : 가능
시편 요구사항 : 진공적합 재료
주용도 : 무기물의 조성분석