Nanofilm
BFSI-LENS-200X
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2016-10-31
1,144,647,610원
기관의뢰
고정형
건별
3,000,000원
- 적외선 광학 렌즈 및 적외선 광학 윈도우에 내구성 DLC (ta-C) 코팅을 하기 위한 장비임.
- 광학 부품 외에 내구성 코팅이 필요한 금형이나 부품에 DLC (ta-C) 코팅이 가능함.
- 원통형 진공 챔버 내에 공자전 지그가 있으며 1개의 이온빔 소스와 2개의 스퍼터 소스, 1개의 X-bend FCVA 소스로 구성되어 있음.
- 이온빔 소스로 코팅전 표면 세정이 가능함.
- 스퍼터 소스로 DLC 코팅 접착력 향상을 위한 중간층을 코팅할 수 있음.
- X-bend FCVA를 이용한 DLC 코팅은 ta-C 코팅으로 박막 경도가 50 GPa 이상임.
- 공자전 지그는 직경 10 mm 렌즈 기준 4500개 장착 가능함.
- 수직방향으로 20 cm 면적에 균일하게 코팅할 수 있으며 균일도와 재현성은 ±10% 이내임.