Shincron
ACE-1350TSN
1년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 전자빔증착기
2016-11-16
916,413,830원
기관의뢰
고정형
건별
1,000,000원
- 적외선광학렌즈의 광 투과율을 향상시키기 위해 무반사코팅막을 제작하는데 사용됨
- 높은 광학성능, 부착력, 균일성 및 재현성을 가지는 적외선 다층막을 제작하는데 사용됨
- 적외선광학렌즈의 내구성을 향상시키기 위해 지문방지코팅막을 제작하는데 사용됨
- 십층 이상의 적외선 미러 및 필터 제작하는데 사용됨
1. 적외선광학코팅용 다층막 양면연속공정가능
- 코팅공정시 고진공상태를 유지하여 렌즈 또는 기판의 양면(앞, 뒤)에 무반사코팅막 제작을 연속으로 완료한 후 공기중에 노출되면 흡수발생이 현저히 줄어들어 고투과율을 가지는 무반사코팅막 제작이 가능
- 또한, YbF3, ZnS, Ge 등은 저온 확산물질이기 때문에 180도 빔편향 전자빔을 사용하면 코팅공정 중 발생되는 물질의 spitting에 의해 arc발생이 일어나 결과적으로 박막손상을 가져오기 때문에 반드시 270도 전자빔을 사용해야함
- 연속으로 렌즈 및 기판 양면에 적외선 다층막 코팅공정을 진행하기 위해서는 180도 반전돔, 광학코팅 물질 자동공급장치 및 270도 빔편향 전자빔은 필수임
2. 지문방지코팅막 증착 가능
- 적외선광학렌즈에 무반사코팅은 물질의 특성상 내구성이 매우 낮아 외부적 환경요인에 의해 스크래치, 크랙, 수분에 의한 변질층 등이 발생되기 때문에 최외각층에 내구성박막코팅이 필요함
- 지문방지코팅은 습도 및 외부 스트레스에 매우 강하여 외부노출이 많은 적외선광학렌즈에 적용이 반드시 필요함
3. 적외선광학 무반사코팅막의 고부착력, 균일성 및 재현성 확보
- Endhole 방식 등의 이온빔은 파워가 낮고, 챔버 내부를 전부 균일하게 조사할 수 없어 막의 부착력 및 균일성, 재현성이 현격히 저하되고, 코팅 공정시 발생되는 박막 및 기판의 열손상을 방지하기 위해 고품질의 적외선광학 박막코팅을 위하여 고주파이온보조증착장치(200℃이하)가 필수임
- 무반사 다층박막 제조시 적외선 광학코팅 물질들을 수 um 정도의 매우 두꺼운 다층막으로 제작하기 때문에 효과적으로 박막의 두께를 조절하기 위해 광학모니터링 제어 방식을 사용하여 실시간으로 두께를 측정하고 피드백을 주어 공정시 두께를 보정해야 함