엔젯(주)
CC-200
11년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2017-02-02
189,500,000원
고정형
건별
100,000원
캐필러리 본 시스템은 기재를 loading/unloading 및 코팅 공정을 위하여 정밀 이송이 가능한 substrate transfer module, 유/무기 계열의 저점도 용액을 capillary force를 이용한 코팅을 수행하는 capillary coating module, 코팅 공정 후 가건조가 가능한 pre-drying module 및 코팅 조건 및 기재 이송을 제어하기 위한 controller로 구성된다.Glass 또는 polymer film을 sheet 단위로 전면 또는 stripe 형태의 pattern을 coating 하는 설비이며, 적용가능 기판은 200x200mm 사각의 glass 또는 polymer film 이다.
1. Substrate
? Material : Glass & Film, Metal foil
? Size : 200 mm × 200 mm
? Thickness : 0.1 ~ 1.1 mm
2. Frame unit
? Machine size : 2840(W) × 1240(D) × 1955(H)
? Main Frame : 50 × 50 SUS304 Pipe
? Base plate : AL6061(20T), Silver Anodizing
? Lower Cover : SCP1(1.2T)
? Foot master & Leveler
3. Stage Unit
? Ball Screw & LM motion & Cable chain(구동부 Raydent 처리)
? Motor : Servo motor & drive
? Stage size : 200 mm × 200 mm
? Resolution : ± 0.02 mm
? Stage plate : Al5051, Hard-anodizing)
? Vacuum Hole type : Ø 0.2 ~ 1
? Stage suction : Ejector type (Pneumatic)
4. Down Streaming Unit
? Coating unit 부 set-up
? HEPA Filter
? N2, Ar, Air
5. Drying Unit
? Type : FIR Ceramic heater
? Drying length : > 245mm
? Drying Temperature : Max. 300 ℃
6. Controller
? PC based
? 전용 Control program
? 각 Unit 별 On/Off 구성 및 Remote