NTG
IBF-200SE
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 표면가공기
2017-01-26
840,644,560원
기관의뢰
고정형
시간별
150,000원
초고정도 광학면 제작을 위한 이온빔 초고정도 형상가공기
- 이온빔 형상가공(Ion Beam Figuring) : Ar 이온을 가속하고, 이를 가공물에 충돌시켜 표면형상 가공
- 초고정도 : 형상정도 PV λ/100 이하 (λ=630nm), 표면조도 Ra 1nm 이하의 정밀도
주 시스템 : 1식
- 이온건 및 공작물 위치제어용 3축(XYZ) 이송제어부
- 이온빔 제어부 - 챔버 및 진공펌프부
- 시편의 공급용 로드락챔버(Load lock chamber)부
- 공정제어용 콘트롤러 및 소프트웨어부