SNU프리시즌
없음
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2016-12-15
2,185,000,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
300,000원
본 장비는 유기소자를(OLED 패널 & Microdisplay(OLED on Si)) 제작하기 위한 유기 박막 증착장비로, 여러 종류의 박막을 진공 상태에서 연속적으로 증착 후 봉지 할 수 있도록 구성된 클러스터 형태의 모듈화 장비임
* Substrate : 200☓200mm OLED 소자의 패널, 모듈화 제작 공정
- Substrate Size : 200☓200mm 이하 대응 가능
- Loading capacity : 15 Sample loading 가능(Substrate and Mask)
- Film thickness uniformity : ≤ ±3%
- Align type : Auto alignment (Accuracy : ≤ ± 3㎛)
* Organic Evaporation Chamber(#1, #2) : Organic 물질 증착
- Organic Deposition Module (Evaporation deposition) : 5ea 이상
- OLED 소자용 EIL, ETL 유기 물질 증착 공정
* Metal Evaporation Chamber : Metal 물질 증착
- 전극용 Metal Deposition Module (Evaporation deposition) : 4ea 이상
* TFE PECVD system : 유전체 물질 증착
- Deposition Module (PECVD) : a-Si, SiNx, SiO2 증착 가능
* Glove box & unloading module : Glass Encap.
- Glove box : Frame 2 pairs of glove 이상(Ante chamber 포함)
- UV Curing module(Wave Length:365nm/Lamp:Metal Halide)
- Dispenser : Encap. 용 디스펜서
* Substrate Transfer Module : Substrate and Mask Transper
- Chamber type : Octagonal(8-station)
- Single arm vacuum robot