(주)인포비온
IC1100
12년
주장비
기타
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 플라즈마기상화학증착장비
2012-04-24
225,000,000원
고정형
건별
84,700원
셀 쪽으로 들어오는 태양빛의 반사를 방지하고 효율을 향상하기 위한 증착 장비
셀로 들어오는 빛의 반사를 막음으로 인해 셀 효율을 향상 시키는 필수적인 장비이다
박막의 질이 우수하며, 형성이 용이함
System 구성 : Process Chamber, Load-Lock Chamber
Gas Operation : Gas - N2, H2, B2H6
Source - DEZn, H2O
Substrate Size : 100mm 100mm
Substrate Heater : Max. 500℃(±5%)
System Contol : PLC Program with PC
Additional System : Gas Cabinet, Scrubber