HITACHI
IM4000
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 절삭장비 > 밀링장비
2015-08-31
259,600,000원
기관의뢰
고정형
건별
70,000원
불활성 가스 예를 들면 아르곤 이온을 진공 중에서 전기적으로 가속하여 나오는 전자 빔으로 재료에 충격을 주어 커팅, 연마 등에 활용하며 이를 이온 빔 가공이라 한다. 특히 이온 빔을 통해 거의 모든 재료에 대해 고품질 단면을 얻어 변형이나 손상이 거의 없는 내부구조를 확인할 수 있으며 이렇게 전처리된 시험편으로부터 S.E.M 미세조직 분석 및 E.D.X 분석 등에 활용 가능함.
이온빔 커팅기는 크게 이온빔 발생장치, 진공 시스템, 커팅부위 관찰 현미경 및 커팅·연마를 위한 Sample stage로 구성되며 열에 민감한 표면처리 부품들에 대한 정밀 절단 등을 위한 저온 cooling system등의 부가장치로 구성된다.
· 이온빔 발생장치
일반적으로 Ar을 이용한 이온 빔이 사용되어 지며 빔이 나오는 수에 따라 One 또는 Triple 로 이온 빔으로 구분 됨.
· 진공 시스템 Turbomolecular drag pump 및 Diaphragm pump with oil free pump나 TMP 및 Rotary pump등 두 가지 pump로 약 10-5 mbar까지 진공을 걸어 주는 장치
· 관찰 현미경
절단하고자 하는 정확한 위치를 구현하고자 약 300배 이상의 배율로 관찰 및 모니터링이 가능한 stereo zoom microscope 장치
· Sample stage
절단하고자 하는 시험편을 고정하고 절단 경계부위를 마스킹 하는 장치로 열에 민감한 시험편에 대하여 절단할 경우 약 150℃로 냉각이 가능한 cooling stage가 포함된 장치