1.온도제어장치
1)주 TEMP Controller : UP55A
2)PID 제어방식, Touch Panel에 의한 파라메터 설정
3)Thermocouple : C-Type
4)디지털 기록계 : GR200-1220
2.TRANSFORMER
1)3상 380V-70KVA
2)복권-스콧방식 적용(1Ø2개 회로)
3.POWER REGULATOR
1)3상 전류피드백 방식 적용
2)Model : TPP3-130-I(파라ENT 제품)
4.VACUUM 장치 & CONTROLLER
1)Rotary Pump : GHP-240K,240L/Min,3상 380V
2)Diffusion Pump : DPF-6Z,810L/Min,1상 200V,1000V
3)도달진공도 : ×10-3 Pa(1900℃)
4)진공게이지 : Pirani Gauge TRP-11+TR-1DB
Cold Cathode Gauge TRC-10+TR-2DB
5)연성계 : -100kpa ~ +100kpa
6)기타 : 공압 앵글밸브,리크밸브,게이지 포트 등