인포비온
모델명없음
10년
주장비
생산
전기·전자장비 > 달리 분류되지 않는 전기 전자장비 >
2015-05-15
436,700,000원
고정형
시간별
9,999원
◦ 활용방안
- Ion beam을 이용한 기판표면처리와 3target을 이용한 다층박막 증착
: 강판 표면처리 및 표면 개질
: 고온, 고압에 안정한 산화물 및 질화물 코팅과 표면처리
: 투명 전극 코팅 및 각종 전극 증착
: 고분자 film 기판상의 절연층 및 전극 증착
: 300✕300mm 크기의 태양전지 셀 제조공정
: 광학분야 다층박막 코팅
◦ Specification
- Operation: Batch type
- Multi-sputter deposition & Ion beam treatment
- 1,000mm 10kW Sputter gun 3ea
: Target size: 800 mm
- 1,000mm 3kV Ion gun 1ea
: Effective zone: 800 mm
- Substrate size: 400 x 600 mm
- Cooling drum for polymer film
- Heating: ~ 400℃
- Base pressure: < 2x10-6 Torr
- Turbo pump: 2400L/min 2ea
- Booster pump 1ea, Rotary pump 1ea