JEOL
JEM-ARM300F
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 투과전자현미경
2016-03-29
4,183,331,590원
원
전계 방사 투과형 전자현미경(FE-TEM)은 일반 광학 현미경으로는 관측이 어려운 물질의 미세영역까지도 관측해낸다. 광학 현미경에서의 광원은 자연광을 이용하나 전자 현미경에서는 전자총에서 발생된 전자 빔(Beam)을 집속시켜 시료의 미세영역에 조사(Illumination)한 다음 시료를 투과한 전자들의 전자장을 이용해서 확대시킨 후 형광판에 비추게 된다.
FE-TEM은 물질의 미세영역에 있는 내부구조 및 형태를 확인하고 그 결정들이 가지고 있는 다양한 성질들을 알아내는데 유용하게 사용된다. 그 적용 범위는 금속뿐만 아니라 생태학, 생물학을 비롯하여 의학, 면역학등 거의 모든 분야에서 사용되며 고분해 작업을 요하는 곳에서는 필수적인 장비이다. 또한 X-선 분석기를 부착시켜 관측하고자 하는 시료의 미세영역에 대한 정성, 정량분석도 할 수 있어 분석적 목적으로의 확장도 가능하다.
특히 구면수차 보정(Cs Corrector)기능이 추가되어 STEM에서의 분해능은0.05nm까지 보증가능하며 300kV까지 가속전압을 인가할 수 있어 다양한 sample에 적용이 가능하다.
1. Model : JEM-ARM300F STEM Cs(FHP Option)
Oneview Camera system (In-situ option포함)
965 Quantum ER(EELS System)
2. JEOL의 Dual EDS System(100mm2)
Dual EDS용 Special Double tilt holder포함
3. 160kV, 60kV Cs Alignment
4. Remote control System
5. Tomography
Basic Performance:
1. Resolution
TEM Point image: 0.18 nm
TEM Lattice image: 0.05 nm
STEM BF image: 0.063 nm
STEM DF image: 0.063 nm
2. Accelerating Voltage: 80 to 300KV
Step size: 100 V
Cs corrector tuning: 300kV, 80 kV (160, 60 kV optional)
3. Electron Gun
Emitter: W Cold field emission type
Brightness: ≥ 1 x 109 A/㎠/sr(at 300kV) : CFEG
Vacuum pressure: Order of 10-9 Pa : CFEG
Probe current: 0.5 nA for 0.2 nm probe diameter
Energy resolution: 0.35 eV : CFEG
4. Power Stability
Acc. Voltage: 0.4 x 10-6 /min
OL current: 0.5 x 10-6 /min
5. Objective lens constant(illumination/imaging)
Focal length : 2.1 mm / 2.2 mm
Cs coefficient : 0.7 mm / 0.7 mm
Cc coefficient : 1.3 mm / 1.3 mm
Minimum focal step : 0.3 nm / 0.3 nm
6. Spot size: min. 0.10 nm dia.
7. CB Diffraction
Convergence angle : 1.5 - 100 mrad or more
Acceptance angle : ± 10˚
8. Magnification
MAG : x2,000 ~ 2,000,000
LOWMAG : x60 ~ 40,000
SAMAG : x8,000 ~ 1,000,000
9. Camera length
SA DIFF mode : 8 ~ 150 Cm
10. Specimen tilting X/Y : ± 24˚ / ± 28˚
11. EDS Solid angle : 0.47 sr.
12. Take-off angle : 16˚
13. GIF system : Dual EELS