한국진공
모델명 없음
5년
부대장비(부가장치) (주장비:이온원성능검증챔버)
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2015-06-19
74,250,000원
고정형
시간별
2,228원
1.5 m급 선형 이온원의 표면처리 공정 평가를 위한 진공챔버의 구동 제어반임.
해당 장비는 이온원성능검증용챔버로 주문제작한 장비임.
주문제작으로 인해 카탈로그 또는 매뉴얼 없음.
Gas Supply Parts
Air Control Part
Electric Control Part