Napson
NC-80MAP
10년
주장비
분석
전기·전자장비 > 달리 분류되지 않는 전기 전자장비 >
2015-03-20
86,000,000원
고정형
시간별
100,000원
- 본 장치는 시편에 Eddy current를 발생시켜 면저항을 측정하는 장비로 면저항 값을 알고 있는 표준시료를 사용하여 고주파와 면저항의 관계 특성을 작성하고 측정하고자 하는 시편에 대해 고주파 전류값을 측정하여 시편의 면저항 측정
- Capacitance sensor(Sensor A,B)를 활용한 기판의 두께 측정
- SiC 단결정 기판의 전기적 물성을 측정하는 장비로, N-type의 단결정 도핑농도 및 전기적 저항을 측정하는 장비
- Manual loading - Measurement for sheet resistance (ohm/sq) and resistivity (ohm.cm)
- Automatic probe selection by measurement range
- Automatic temperature correction with thermal sensor
- Wafer size: 2(50mm) ~ 8 inch (200mm)
- Edge exclusion: 7mm