오르보텍
LDI-150
9년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2014-01-20
892,326,580원
기관의뢰
고정형
일별
600,000원
- Maskless방식으로 UV 레이저를 직접 조사하여 패턴을 형성하는 장비
- Cad/CAM data를 이용한 디지털방식
- Mask없이 노광이 가능하므로, 다양한 패턴, 긴급을 요구하는 제품 등 시제품 등의 제작.
● Higher Accuracy
- Min. feature : 12um
- High Depth of Focus (DoF) : ±300um
● Wide Range Utilization
- TSP (Cell, Sheet type 모두 대응), PCB, WLP 등
- 500 x 500mm 대응 가능
- 다양한 Resist 대응력(DFR, Liquid PR)