ATC
MTP-1100TVC
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2014-01-17
180,000,000원
직접사용
고정형
일별
136,000원
- SScreen Mask를 이용하여 전극 패턴 또는 dot을 인쇄 하는 장비
- 수직 플로트형 에어밸런스 방식
- 500 x 500 사이즈 필름, 글라스 대응
CAD/CAM DATA를 이용한 디지털 방식
● Screen frame size : 1,000 x 1,000 및 조절가능
● Squeegee( 막균일도 : ±2 um(50um선폭))
- Epoxy glass type, no bent during movement
550 mm, 270 mm, 130 mm
- Speed : 10 ~ 300 mm/s, Stroke range : 700 mm
- print stage repeatability accuracy : ±3 um
- Low air balanced function