YST
개발장비
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2014-02-05
247,874,834원
기관의뢰
고정형
건별
42,000원
- 필름 또는 글라스의 CAD도면 비교, 자동 불량 검출 및 위치정보 저장, 형태적, 전기적 측정을 위한 장비
- 불량 패턴의 형태(쇼트, 단선, position shift, scratch)를 자동 Scan하여 특정위치 정보를 송출하여 컨포컬현미경을 통해 파티클 및 불량 검사 및 길이, 높이, 각도, Ra, 면저항 측정
● Pattern Inspection Parts
- 8K Color line scan camera
- Zenon or Dual LED type illumination
- 0.5X ~ 1.5X(R: 7~11 um)
● Stage Part
- 500 x 600 mm(Accuacy ±20 um, Veocity 50 mm/s)
- 수평정밀도 : 0.01 mm