JEOL
JEM ARM200F
11년
주장비
분석
광학/전자영상장비 > 현미경 > 투과전자현미경
공동활용허용
2013-01-19
4,068,460,450원
기관의뢰
고정형
시간별
250,000원
- 200kV로 가속된 전자를 얇은(~<100nm)시료로 투과시켜 발생된 이미지와 회절상으로 재료의 형상 및 결정을 분석하는 전자현미경임.
- 구면수차보정장치(Cs Corrector)가 장착된 STEM으로 고분해능 STEM상의 관찰과 미세영역의 원소분석(EDS, EELS)을 빠르고 정확하게 할 수 있음.
- 이미지 분해능 : 0.19nm(TEM), 78pm(STEM)
- 수차보정 장치(Cs-Corrector) : STEM Probe 보정
- 전자에너지손실분광분석기(EELS) : 0.3eV (Quantum, Gatan)
- 에너지분산엑스선분광분석기(EDS) : 125eV (AZtec, Oxford)