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- i-Tube No. 1006-C-0182
- NTIS No
- 설치기관 명지대학교산학협력단
- 주소 경기 용인시 처인구 남동 산 38-2 명지대학교용인캠퍼스
- 담당자 하태민 (T. 031-330-6975 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Tencor
-
모델 명
Alphastep IQ
내용연수9년
-
구분
주장비
용도계측
-
표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
장비활용범위공동활용허용
-
취득일
2010-06-17
취득금액35,200,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료0원
장비설명
단차 측정 장비
장비 구성 및 성능
반도체 공정 중 단차 측정 장비
1A 분해능
최대 길이 1mm 시편 내의 단차 측정 가능
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
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