esi
5330HE
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2011-05-24
505,615,456원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
125,480원
o 그린시트의 미세비아홀, 가이드홀 및 Cavity모양을 Laser 방식으로 천공하는 장비, UV Laser 방식
o Working table Size: 533× 635㎜
o Via hole size: Min. Φ 25㎛
o System accuracy: ±20㎛
o Laser type: Diode pumped UV laser
o Long term stability: ±2.5%
o Maximum average velocity : Min. 0.3m/min
o Resolution: ±5㎛
o Accuracy: ±25㎛
o Repeatability: ±25㎛
o Detection device: 2 CCD Cameras
o Illumination: LED